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清空记录
历史记录
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一、抽气速率下降(真空度达不到要求或抽气变慢) 现象 泵的极限真空度明显升高(如原本能到 10⁻²Pa,现只能到 1Pa); 抽气时间显著延长,无法快速达到目标真空。 常见原因 泵油污染(混入灰尘、水分、杂质,或油因高温氧化变质); 密封件老化(进排气口密封圈、轴封磨损,导致大气泄漏); 旋片或定子磨损(旋片端部与定子内壁间隙增大,气体无法有效压缩); 气镇阀未关严(若未抽除水蒸气,气镇阀开启会导致空气泄漏)。 维修方法 更换泵油: 停机后打开放油阀,彻底排空旧油(建议用同型号新油冲洗 1-2 次,清除残留杂质); 按泵的规格加注专用真空泵油(油位需在油标 “MAX” 与 “MIN” 之间,不可过多或过少)。 检查 / 更换密封件: 拆卸进排气口法兰,查看密封圈是否变形、开裂,若损坏则更换同规格氟橡胶或丁腈橡胶密封圈; 检查轴封(位于转子轴与泵壳连接处),若有渗油或漏气,更换轴封组件。 修复或更换磨损部件: 拆卸泵壳,检查旋片是否磨损、崩角(若磨损轻微,可轻微打磨端部;磨损严重则需更换旋片); 查看定子内壁是否有划痕或凹陷,若磨损严重需更换定子(需保证转子与定子的偏心度符合原厂标准)。 检查气镇阀:关闭气镇阀,观察真空度是否回升;若气镇阀密封不良,拆解后清洁阀芯或更换气镇阀垫片。
